CS330質(zhì)量流量控制器是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品,*高流量可達200SLM氮氣,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式;產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機器人金屬表面拋光技術,可用于測量各種氣體的流量,包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點,并支持DeviceNet,RS485通訊協(xié)議。
查看詳細介紹CS200H質(zhì)量流量控制器是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品,其電氣和機械部分采用分體式的設計,通過高溫線纜連接,可以實現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作,能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。
查看詳細介紹CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品,該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,采用了基于DF的壓力信號補小償算法,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,產(chǎn)品各項技術指標均嚴格按照SEM標準,支持Ⅵ型,C型GS氣路系統(tǒng)。
查看詳細介紹DS300質(zhì)量流量控制器是針對半導體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。
查看詳細介紹CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術平臺開發(fā),在擁有恒功率傳感器技術,數(shù)字傳感器平衡技術,VCP線控制技術的基礎上,采用客戶定制化設計,客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,同時其*創(chuàng)的客戶零點補唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題,使產(chǎn)品更好的適應客戶環(huán)境。
查看詳細介紹D07-23FM質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-23F產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應時間快的模擬產(chǎn)品。
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